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本发明涉及半导体器件加工领域，为了解决现有的半导体夹持卡盘在使用时存在震动、夹持效果不佳的问题，公开了一种半导体减震夹持卡盘装置及其系统，所述一种半导体减震夹持卡盘装置，包括卡盘基座，卡盘基座的侧面设置有卡盘安装座，卡盘安装座远离卡盘基座的...
该专利属于广东海拓创新精密设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东海拓创新精密设备科技有限公司授权不得商用。

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