下载转台微调机构及包括该机构的探针台的技术资料

文档序号:31923429

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本实用新型提供一种转台微调机构,与转台相连并驱动其转动一定角度,其包括:直线驱动组件、与所述直线驱动组件相连的旋转组件,所述旋转组件与所述转台相连;所述直线驱动组件,包括直线驱动器和连接板,所述直线驱动器驱动所述连接板直线运动;所述旋转组件...
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