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本发明的外围曝光装置具有下列部件：ＸＹ支承台（２），支承涂敷有抗蚀剂的印刷电路板（１）；支承ＸＹ支承台（２）的旋转工作台（３）；对印刷电路板（１）的外围进行曝光的外围曝光用光源（４）；保持外围曝光用光源（４）的滑动件（５）；检测外围曝光用光...
该专利属于东丽工程株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东丽工程株式会社授权不得商用。

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