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文档序号:3192238

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本发明涉及一种半导体器件及其制造方法。NMOS晶体管的有源区和PMOS晶体管的有源区被STI元件隔离结构隔开。STI元件隔离结构由第一元件隔离结构以及在除了第一元件隔离结构之外的区域中形成的第二元件隔离结构组成,其中形成该第一元件隔离结构以...
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