下载一种深紫外发光二极管结构及其制备方法的技术资料

文档序号:31922123

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种深紫外发光二极管结构及其制备方法,包括从下至上依次叠加的衬底、缓冲层、具有台面结构的N型AlGaN层、多量子阱层、P型层,所述N型AlGaN层的台面结构上设置有N型金属电极,所述P型层上设置有P型金属电极,所述N型AlGaN层...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。