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一种深紫外发光二极管结构及其制备方法技术
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文档序号:31922123
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本发明涉及一种深紫外发光二极管结构及其制备方法,包括从下至上依次叠加的衬底、缓冲层、具有台面结构的N型AlGaN层、多量子阱层、P型层,所述N型AlGaN层的台面结构上设置有N型金属电极,所述P型层上设置有P型金属电极,所述N型AlGaN层...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。
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