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一种场效应晶体管（１）包括：具有第一空腔（５１）的衬底（１０）；隐埋在衬底（１０）中的栅极（４０）；和形成在衬底（１０）中并与第一空腔（５１）接触的扩散层（６０）。沟道区（７０）形成为基本上垂直于扩散层（６０）之间的衬底（１０）表面。...
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