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本发明防止处理液的蒸气和雾气从处理室内向处理室外泄漏。在容器（２）的内部形成处理室。容器（２）由非磁性材料构成。喷雾器（３）在处理室内，将处理液向基板（１）的表面进行喷涂。在处理室内，以设定的间隔设置有多数个旋转轴（１１）。在旋转轴（１１）...
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