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异常制品数据分析方法及系统技术方案
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文档序号:31921444
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本发明提供的异常制品数据分析方法及系统中,可以根据不同的定义规则把各定义下对应批次的批次号、片号等生产数据信息输入或导入到系统中并记录保存,选择所需对比的参数,包括良率数据、在线量测数据和电性数据等,便可自动输出数据对比的表格及图表,便于后...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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