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本发明提供一种化学－机械抛光组合物，其包含：（ａ）二氧化硅颗粒、（ｂ）以所述抛光组合物总重量计约５×１０↑［－３］至约１０毫摩尔／千克的至少一种选自由钙、锶、钡及其混合物组成的群组的碱土金属、（ｃ）约０．１至约１５重量％的氧化剂、及（ｄ）含...
该专利属于卡博特微电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡博特微电子公司授权不得商用。

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