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本发明涉及通过在真空传输腔室与刻蚀反应腔室的连接处安装两个普通光电开关传感器，准确计算出硅片在机械手的偏离位置和机械手上硅片的有无，指导机械手自动调整偏差放片，保证硅片中心定位在反应式静电卡盘中心位置的方法。...
该专利属于北京圆合电子技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京圆合电子技术有限责任公司授权不得商用。

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