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一种正型抗蚀剂组合物，其包括含有酸可解离的、溶解抑制基团和在酸作用下显示提高的碱溶解度的树脂组分（Ａ）和通过曝光生成酸的酸生成剂组分（Ｂ），其中树脂组分（Ａ）是包含衍生自羟基苯乙烯的第一结构单元（ａ１）和衍生自具有醇式羟基的（甲基）丙烯酸酯...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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