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具有电荷损失减少的氮化物层的存储单元结构及其制造方法技术
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文档序号:3191723
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根据一个实施例,一种存储单元结构包含半导体衬底(210)、位于该半导体衬底上方的第一氧化硅层(215)、位于该第一氧化硅层上方的电荷储存层(220)、位于该电荷储存层上方的第二氧化硅层(225)、以及位于该第二氧化硅层上方的栅极层(230)...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。
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