下载具有电荷损失减少的氮化物层的存储单元结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3191723

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根据一个实施例,一种存储单元结构包含半导体衬底(210)、位于该半导体衬底上方的第一氧化硅层(215)、位于该第一氧化硅层上方的电荷储存层(220)、位于该电荷储存层上方的第二氧化硅层(225)、以及位于该第二氧化硅层上方的栅极层(230)...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。

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