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具有自行对准导线的结构及其制造方法技术
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文档序号:3191432
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一种具有自行对准导线的结构及其制造方法,首先,提供一基底,此基底中已形成多个隔离结构,且隔离结构突出于基底表面,而相邻隔离结构间定义出一有源区,此有源区中已形成多个元件。接着,于基底上形成一导体材料层以覆盖隔离结构与有源区。之后,以隔离结构...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。
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