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本发明属于半导体领域，涉及一种聚醚高聚物和抗反射涂层溶液及其制备方法。所述聚醚高聚物通过将四烷氧甲基甘脲中间体与二醇进行缩合反应得到，且所述聚醚高聚物的重均分子量为5000～20000g/mol。本发明通过在由四甲氧基甲基甘脲与二醇类化合物...
该专利属于厦门恒坤新材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门恒坤新材料科技股份有限公司授权不得商用。

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