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NROM单元中的阈值电压偏移制造技术
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文档序号:3191292
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一种NROM(氮化物只读存储器)单元,通过沟道热电子注入对其进行编程,通过热空穴注入对其进行擦除,该单元包括由底部氧化物层、电荷俘获层、以及顶部氧化物层形成的电荷俘获结构。所述底部氧化物层不厚于提供容限稳定性的底部氧化物层。...
该专利属于赛芬半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛芬半导体有限公司授权不得商用。
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