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本发明公开了一种平行束注入角度测量方法，使用了移动法拉第、测束法拉第，测量步骤为：（１）通过移动法拉第遮挡离子束，使测束法拉第形成相应的电流曲线图；（２）根据公式计算出平行束注入角度θ≈ａｒｃｔｇ（（Ｘ１’＋Ｘ２’）／２－Ｘ０）／（Ｈ－ｈ／...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种平行束注入角度测量方法，使用了移动法拉第、测束法拉第，测量步骤为：（１）通过移动法拉第遮挡离子束，使测束法拉第形成相应的电流曲线图；（２）根据公式计算出平行束注入角度θ≈ａｒｃｔｇ（（Ｘ１’＋Ｘ２’）／２－Ｘ０）／（Ｈ－ｈ／...