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制作结的方法以及采用该方法形成的已加工材料技术
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下载制作结的方法以及采用该方法形成的已加工材料的技术资料
文档序号:3191143
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一种形成浅结的方法,其步骤简单,并且具有高精确度和高生产量。建立适于所要施加的电磁波的波长的衬底表面状态。之后,施加电磁波对杂质进行电激活,从而使激励能量在杂质薄膜中得到有效吸收。因此,有效形成了浅结。...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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