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半导体存储器件及其制造方法技术
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文档序号:3191036
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本发明提供一种半导体存储器件及其制造方法。硫属化物材料与硅氧化膜的接合性差,因此出现了在相变存储器的制造工序中容易剥离的课题。另外,相变存储器复位时(非晶化)必须要将硫属化物材料加热到熔点以上,因而出现了需要非常大的重写电流的课题。为解决上...
该专利属于株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社瑞萨科技授权不得商用。
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