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桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方法技术
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文档序号:3190956
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本发明涉及一种可解决P电极和N电极边缘间发光损失的桥式N电极型氮化镓基大管芯发光二极管及制备方法,通过金属有机物化学气相沉积生长技术,在异质材料或双抛面蓝宝石衬底上生长氮化镓基LED的多层材料结构,经过光刻、淀积、刻蚀、蒸发、剥离等步骤制备...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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