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本实用新型涉及晶片制造技术领域，公开了一种晶片研磨烘干检测工作台，包括底座，底座上设置有研磨机构、烘干区、取片区和检测区；烘干区包括烘干槽和吹风箱，吹风箱连接有出气管道，出气管道上并连有第一吹风管和第二吹风管，第一吹风管上连通有加热器和第一...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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