温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种制造发光二极管的方法,其中激光剥离(LLO)层和外延层形成于氮化物半导体衬底上,然后通过激光剥离工艺分离氮化物半导体衬底,由此提高了外延层的特性,并能够制造高品质且高效率的发光二极管。而且,由此分离的LLO层使用激光束来移除,以便重新使...该专利属于LG电子株式会社;LG伊诺特有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过LG电子株式会社;LG伊诺特有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种制造发光二极管的方法,其中激光剥离(LLO)层和外延层形成于氮化物半导体衬底上,然后通过激光剥离工艺分离氮化物半导体衬底,由此提高了外延层的特性,并能够制造高品质且高效率的发光二极管。而且,由此分离的LLO层使用激光束来移除,以便重新使...