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一种使用曝光光在基片上形成规定的图案的曝光装置，具备：可相对于上述曝光光的光轴进行移动的载物台装置；设置在上述载物台装置、对上部供给液体的透光性部件；以及在进行检测时可配置在上述透光性部件下部的检测装置。能够防止曝光用的液体向波面像差检测器...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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