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具有低标准偏差的高值分裂多晶P电阻器制造技术
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下载具有低标准偏差的高值分裂多晶P电阻器的技术资料
文档序号:3190632
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一种形成在半导体晶片上的高值多晶硅电阻器,该高值电阻器包括: 至少一个氧化物层, 制作在所述至少一个氧化物层上的第一多晶硅层,所述第一多晶硅层具有露出至少一个氧化物层的图案化且被腐蚀的开口,该被腐蚀的开口的外围限定了垂直边缘, ...
该专利属于快捷半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过快捷半导体有限公司授权不得商用。
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