下载低能量多沟道全耗尽量子井互补式金氧半导体场效晶体管的技术资料

文档序号:3190615

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一种多沟道半导体装置具有已完全或部分耗尽的量子井,并且对于超大型积体装置内,像是互补式金氧半晶体管(CMOSFET),是特别有用的。例如,多沟道区域(15)设置在衬底(12)上,并具有形成于最上端沟道区域(15)上的栅极电极(16),其间是...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。

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