下载制造CMOS图像传感器的方法的技术资料

文档序号:3190529

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一种制造CMOS图像传感器的方法,该制造方法包括:在具有由光电二极管区和晶体管区限定的有源区的半导体衬底的晶体管区形成栅电极,一栅绝缘层插在所述晶体管区和栅电极之间;在栅电极一侧的晶体管区形成第一导电类型的第一杂质区;在栅电极两侧形成第一侧...
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