下载一种沟棒及硅片舟及硅片舟制作方法的技术资料

文档序号:31903530

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本发明公开了一种沟棒,所述的沟棒包括沟棒基体和垂直设置在沟棒基体上的若干接触体,相邻接触体与接触体之间形成沟槽,所述的沟棒基体上均布有若干下沉孔,所述的接触体插设在下沉孔内部,所述的接触体与下沉孔之间形成微小空隙,所述的微小空隙内部注有硅溶...
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