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一种识别用于测量微电子特征所需尺寸的计量工具系统中的失效的方法，其中的每个计量工具运行多个配方以测量微电子特征所需尺寸，每个配方包括测量微电子特征的至少一个尺寸的一组指令。该系统包括存储有微电子特征尺寸测量中的失效的误差记录。该方法包括从上...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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