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本发明提供适合作为Ｉ－Ｄ偏差、焦点会聚范围（ＤＯＦ）等特别优异的化学放大型抗蚀剂中的树脂成分的新型聚硅氧烷，作为合成该聚硅氧烷的原料等有用的新型硅烷化合物，和含有该聚硅氧烷的放射线敏感性树脂组合物。硅烷化合物用下述式（Ⅰ）表示。聚硅氧烷具有...
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