下载藉利用硅化物生长掺杂物雪耙效应于装置中形成陡接面的技术资料

文档序号:3190205

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本发明系提供一种具有半导体衬底(102)的陡接面装置(100)的形成方法。在半导体衬底(102)上形成(1104)栅极电介质(104),且在栅极电介质(104)上形成(1106)栅极(106)。在邻近于栅极(106)及栅极电介质(104)的...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。

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