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pH调节水制造装置，具有在超纯水(W)的供给线(1)中具备铂族金属负载树脂柱(2)、膜式脱气装置(3)和气体溶解膜装置(4)，且在铂族金属负载树脂柱(2)与膜式脱气装置之间设置有pH调节剂注入装置(5)的构成。在膜式脱气装置膜(3)的气相侧...
该专利属于栗田工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过栗田工业株式会社授权不得商用。

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