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本发明提供一种半导体存储元件及其制作方法，半导体存储元件包含有一半导体基板以及多个储存单元设于半导体基板上，各储存单元包含有一深沟槽设于半导体基板上以及一电容设于深沟槽的底部，深沟槽中另设有一颈氧化层，其包含有一第一侧壁与一第二侧壁，该第一...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。

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