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用于集成替换金属栅极结构的方法技术
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文档序号:3189468
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描述了形成微电子器件的方法和相关结构。那些方法包括:提供包括包含n-型栅极材料的第一晶体管结构和包含p-型栅极材料的第二晶体管结构的衬底,选择性地去除n-型栅极材料以在第一栅极结构中形成凹进,然后用n-型金属栅极材料填充该凹进。...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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