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本发明目的之一是提供一种制膜方法或图案形成方法，其能够通过利用反应活性物种等的化学物种，而简便地形成膜。本发明提供一种制膜方法，从至少一个喷嘴吐出化学物种或其前体，在基体上配置由所述化学物种构成的多个膜。本发明提供一种图案形成方法，从至少一...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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