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本实用新型公开了一种半导体生产用硅晶圆柱加工设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有透明罩，本实用新型在使用时，通过防护罩的设置可以有效的对打磨过程中产生的粉尘进行隔绝，避免飘散的粉尘对工作人员的身体造成危害，且通过伺服电机、第二螺纹杆、第...
该专利属于上海亘今精密机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海亘今精密机电科技有限公司授权不得商用。

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