下载一种冷氢化渣料中氯硅烷回收系统的技术资料

文档序号:31890908

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本实用新型公开了一种冷氢化渣料中氯硅烷回收系统,属于多晶硅生产技术领域,包括洗涤塔、搅拌冷却罐I、低温搅拌冷却罐、脱高沸塔、搅拌冷却罐II、过滤器、冷却装置I、蒸发机和冷却装置II,所述洗涤塔依次连接搅拌冷却罐I、低温搅拌冷却罐,所述低温搅...
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