下载一种COS封装激光器的检测装置的技术资料

文档序号:31880168

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本发明公开了一种COS封装激光器的检测装置,包括检测台、第一CCD相机、第二CCD相机、第一光谱共焦位移传感器和控制组件,所述检测台包括激光器吸附组件和激光器移动组件,所述激光器吸附组件安装于激光器移动组件上,所述第一CCD相机竖直设置于激...
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