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文档序号:3187968
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本发明提供一种高耐压的半导体器件。由细长的主沟槽部(26)和与主沟槽部的长度方向侧面连接的副沟槽部(27)构成有源沟槽(22a),在主沟槽部(26)的底面上,配置其高度比第二导电类型的基底扩散区(32a)的底面低的第二导电类型的埋入区(24...
该专利属于新电元工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新电元工业株式会社授权不得商用。
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