下载用于检查半导体元件上的标记的方法和设备的技术资料

文档序号:3187906

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本发明涉及摄像机所获取的激光标记图像的方法和设备,以使具有浅蚀刻激光标记的图像高对比度和低背景干扰成分,适于被元件检查系统检查。所述方法包括以下步骤:以相对于水平面的一低角度照射所述半导体封装件表面,利用摄像机以大约所述低角度获取从所述半导...
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