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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3187905
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本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。目的在于:在具有被全硅化物化的双栅极结构的半导体装置中,通过提高栅极电极的稳定性来提高半导体装置的可靠性。在形成成为N型MIS晶体管形成区域的栅极电极的NiSi膜(110A)的同时,形成成为P型MIS...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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