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一种ＭＯＣＶＤ技术超低温制备高电导率、绒面未掺杂ＺｎＯ薄膜的方法。首先利用电子束蒸发技术或者溅射方法在玻璃衬底上沉积一层５０－１００ｎｍ高电导的ＩＴＯ薄膜作为种子诱导层，其通常具有很好的电导率（～１０↑［－４］Ωｃｍ）；然后利用ＭＯＣＶＤ技...
该专利属于南开大学所有，仅供学习研究参考，未经过南开大学授权不得商用。

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