下载形成具有金属的栅电极的方法的技术资料

文档序号:3187552

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在一个实施例中,在衬底(10)之上形成栅极电介质层(18),并在栅极电介质层(18)的部分上选择性淀积第一金属层(26),其中形成第一种器件。不同于第一金属层(26)的第二金属层(28)形成于栅极电介质层(18)的暴露部分之上,其中形成第二...
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