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本发明涉及一种用于显示装置的扩散阻挡系统，其包括具有至少两层电介质材料的层系统，其中该层系统中的至少两个相邻层包括相同的材料。在单一等离子体沉积系统的处理腔中制造这样的扩散阻挡系统的相应方法，包括的步骤有引入待处理的基板到所述处理腔中，以受...
该专利属于欧瑞康太阳ＩＰ股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康太阳ＩＰ股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。

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