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本发明公开了电压模式电流控制的方法和设备。一种计算机辅助的方法包括：（ａ）在衬底的导电薄膜上开始ＥＣＭＰ抛光步骤；（ｂ）设置电压源的当前输出电压，所述当前输出电压根据ＥＣＭＰ抛光步骤的菜单进行设置；（ｃ）测量通过所述导电薄膜的电流；（ｄ）基...
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