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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3185622
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本发明涉及一种半导体器件及其制造方法。根据实施例,半导体器件可以包括:栅绝缘层和栅电极,该栅绝缘层和该栅电极形成在具有隔离层的半导体衬底的上方;低密度结区,其形成在该栅电极的两侧;图案化的绝缘层,其在形成的同时露出该低密度结区的一部分;以及...
该专利属于东部电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部电子股份有限公司授权不得商用。
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