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本发明公开了属于显微外科手术器械及微细加工技术领域的“－”字形结构三维微型实心、空心硅针或硅刀及制备方法。采用微电子工艺制备的微型硅针或硅刀的针或刀尖顶部为与单晶硅的一族（１１１）面平行的“－”字形结构；“－”字形结构是宽度较窄的直线或同一...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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