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提供了一种去除衬底上的有机材料的方法。将衬底置于等离子体加工室中。向等离子体加工室内的内部区域提供第一气体。向等离子体加工室的外部区域提供第二气体，其中，上述外部区域包围上述内部区域，且第二气体具有含碳成分，其中，第二气体的该含碳成分的浓度...
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