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液晶基板等的工序内输送路上设置使载放了基板的托盘一个一个输送的单个输送、和将托盘层叠并输送的层叠输送的两者自由变换的区间，并对应于处理装置（４）侧的状况对单个输送和层叠输送进行切换。在工厂的调试时等的处理量少的时期进行单个输送，在处理量增大...
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