下载多晶硅层以及薄膜晶体管的制造方法的技术资料

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一种多晶硅层的制造方法,其先提供一基板,此基板具有正面与背面。接着,依序形成缓冲层、非晶硅层与顶盖层于基板的正面上。再来,图形化顶盖层而形成一图形化顶盖层,其暴露出部分非晶硅层,其中所暴露出的部分非晶硅层的区域是一结晶开始区域。继之,形成金...
该专利属于中华映管股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中华映管股份有限公司授权不得商用。

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