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一种抗辐射BTS SOI CMOS器件结构制造技术
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文档序号:3184455
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一种抗辐射BTS SOI CMOS器件结构,涉及抗辐射SOI CMOS器件技术,特别是涉及一种新的抗辐射BTS SOI CMOS器件结构。本发明受到总装备部装备预先研究项目经费资助。按照本发明所提供的设计方案,在结构的中部为多晶区...
该专利属于无锡中微晶园电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中微晶园电子有限公司授权不得商用。
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