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下载选择性蚀刻方法的技术资料

文档序号:3184251

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一种选择性蚀刻方法,包括:    -在基材上提供选自组A的第一材料,所述组A包括基于至少两种不同化学元素的具有半导体性能的材料,    -在基材上提供选自组B的第二材料,    -通过液体蚀刻剂,以对所述第二材料具有至少15∶1的选择性,选...
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