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选择性蚀刻方法技术
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文档序号:3184251
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一种选择性蚀刻方法,包括: -在基材上提供选自组A的第一材料,所述组A包括基于至少两种不同化学元素的具有半导体性能的材料, -在基材上提供选自组B的第二材料, -通过液体蚀刻剂,以对所述第二材料具有至少15∶1的选择性,选...
该专利属于SEZ股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过SEZ股份公司授权不得商用。
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